등록
BEOL 패턴 커팅 및 플러깅을 위한 노출 활성화된 화학적으로 증폭된 DSA
기본 정보
1020167004678
2014년 09월 17일
1023643180000
2022년 02월 14일
인텔 코포레이션
2034년 09월 17일
(약 10 년 남음)
관련 정보
특허 정보 요약
등록
상태
11
연차
1
출원인 수
0
발명자 수